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关于麦斯克电子材料股份有限公司年产360万片8英寸硅外延片项目环境影响报告书的批复

日期:2022-09-20来源:高新环保分局

麦斯克电子材料股份有限公司:

你单位报送的由洛阳志远环保科技有限公司所编制的《麦斯克电子材料股份有限公司年产360万片8英寸硅外延片项目环境影响报告书》(报批版)(以下简称《报告书》)、专家评审意见均已收悉。该项目已在我单位网站公示期满。根据《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国行政许可法》《中华人民共和国环境影响评价法》《建设项目环境保护管理条例》等法律法规,经研究,批复如下:

一、该项目建设地点位于中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区利用厂区西侧预留空地新建外延片厂房、锅炉房、特气站、化学品间、材料库及废气、废水等环保设施。本项目以8英寸硅抛光片为衬底,在外延片厂房内新建外延片生产线,新增产能为360万片/ 8 英寸硅外延片。

项目投资105753.67万元,其中环保投资450万元。

二、建设单位在建设过程中要全面落实《报告书》中提出的各项环境保护措施,认真执行环境保护“三同时”制度,重点要求如下:

(一)向设计单位提供《报告书》和本批复文件,确保项目设计符合环境保护设计规范要求,落实防治环境污染的措施。

(二)依据《报告书》和本批复文件,对项目建设过程中产生的废气、废水和固体废物、噪声等污染、以及施工期的环境影响,采取相应的污染防治措施。

(三)项目运行时,外排污染物应满足以下要求:

1、废气。该项目废气包括外延炉废气、清洗酸碱废气和燃气锅炉废气。外延炉废气经“干式吸附装置+二级碱液喷淋吸收塔”净化处理,清洗酸碱废气采用一套碱液喷淋吸收塔净化处理,燃气锅炉加装低氮燃烧器处理。外延炉废气及清洗酸碱废气中的颗粒物、HClNOX排放均应满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表 2的二级标准要求,NH3排放应满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-1993)中的标准要求。燃气锅炉NOXSO2、颗粒物排放均应满足《锅炉大气污染物排放标准》(DB41/2089-2021)表1特别排放限值要求。

2、废水。该项目废水包括生产废水、生活污水和洁净排水。生产废水包括外延片清洗废水、外延炉中石英件酸洗废水、废气处理设施废水,洁净排水包括设备冷却水和纯水制备排水。生产废水主要分为酸碱废水和含氟废水,按照“分类收集分质处理”原则,含氟废水、酸碱废水分别经本项目新建的污水处理站含氟废水处理系统和中和处理系统进行预处理。生活污水依托厂区内现有化粪池预处理。该项目建成后,洁净排水同其他预处理废水在厂区总排口汇合。总排口各污染因子排放浓度均应满足《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表 1 间接排放标准要求,同时也应满足涧西污水处理厂的进水水质要求。

3噪声。对高噪声设备采取有效措施,确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中34类标准要求。

4固废。产生的一般固废暂存于一般固废暂存处,定期外售综合利用或厂家回收;产生的危险废物应按危废管理办法进行收集暂存,定期交有资质单位处置,并做好危废台账管理。

(四)如果今后国家或我省颁布新的标准,届时你单位应按新的标准执行。

三、认真落实《报告书》提出的环境风险防范措施和要求,制定污染事故应急防范预案,加强日常管理,防止发生污染事故。

四、该项目应按照环评报告有关内容严格落实,建设项目竣工后,建设单位应当按照国务院环境保护行政主管部门规定的标准和程序,对配套建设的环境保护设施进行验收,编制验收报告,应当依法向社会公开验收报告并报当地生态环境主管部门。

五、本批复有效期五年。本项目自批复之日起五年后开工建设的,应报我单位重新审核。本批复生效后,建设项目的地点、规模等发生重大变化时,应重新编制环境影响评价文件报我单位审批。

 

 

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